使用固體激光器進行結構化和蝕刻，這曾一度是聞所未聞的。直到“微加工”這一關鍵詞得到廣為流傳，此項工藝才愈發成為關注的焦點。采用激光結構化與激光蝕刻時可加工小型甚至極小尺寸的工件。

 

      結構化與蝕刻在工藝技術方面密切相關：短激光脈沖以極高的脈沖功率產生高能量密度，從而使大部分材料直接蒸發（升華）。此工序僅產生少量的金屬熔融物。每一激光脈沖生成一道小凹口。經測量，凹口直徑通常為幾十微米，而深度也僅有幾微米。